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横河電機株式会社
高タクト・高精度　ダイレクトドライブモータ

【DYNASERV】 回転型DDモータ ： 電子カム・精密送りフィーダ・ ピック＆プレース等の幅広い用途に豊富なラインアップ。
【LINEARSERV】 直動型リニアモータ ： 半導体検査装置・液晶搬 送・各種X-Yステージに高精度でなめらかな動き。
【マイクロステージ】 X-Y-θステージ ： 回転/直動の組み合わ せをお客様に代わってYOKOGAWAがセットアップ。

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